论文信息 - Aktive Thermosonde zur Messung des Energieeinstromes

Aktive Thermosonde zur Messung des Energieeinstromes

Es wird eine aktive Thermosonde zur Bestimmung des Energieeinstromes bei plasmatechnologischen Prozessen vorgestellt. Das Messprinzip beruht auf der Kompensation des eintreffenden Energieeinstromes. Wesentliche Vorteile gegenüber anderen Verfahren sind die Möglichkeit der kontinuierlichen Messung, auch in beschichtenden Plasmen sowie der Verzicht auf eine Kalibrierung der Sonde.

M. Häckel | Ruben Wiese | H. Kersten | Georg Wiese

[1] R. Dussart,et al. On the measurement of energy fluxes in plasmas using a calorimetric probe and a thermopile sensor , 2010 .

[2] T. Trottenberg,et al. A calorimetric probe for plasma diagnostics. , 2010, The Review of scientific instruments.

[3] Gmw Gerrit Kroesen,et al. The energy balance at substrate surfaces during plasma processing , 2001 .

[4] R. Hippler,et al. Investigations on the energy influx at plasma processes by means of a simple thermal probe , 2000 .

[5] K. Ellmer,et al. Calorimetric measurements with a heat flux transducer of the total power influx onto a substrate during magnetron sputtering , 1999 .

[6] H. Kersten,et al. Investigation of the energy transfer to the substrate during titanium deposition in a hollow cathode arc , 1994 .

[7] K. Matl,et al. Ion-assisted deposition with a new plasma source , 1991 .

[8] J. Thornton. Substrate heating in cylindrical magnetron sputtering sources , 1978 .

[9] Robert Gardon,et al. An Instrument for the Direct Measurement of Intense Thermal Radiation , 1953 .