论文信息 - MOCVD Al(Ga)N Insulator for Alternative Silicon-On-Insulator Structure - 字舞流文

MOCVD Al(Ga)N Insulator for Alternative Silicon-On-Insulator Structure

A. Danilewsky | M. Paulasto-Kröckel | M. Tilli | S. Suihkonen | M. Broas | T. Tuomi | G. Ross | A. Lankinen | Ville Luntinen