Efficient nitrogen incorporation in GaAs using novel metal organic As–N precursor di-tertiary-butyl-arsano-amine (DTBAA)
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K. Volz | W. Stolz | A. Beyer | R. Tonner | C. Hänisch | Andreas Stegmüller | L. Duschek | L. Nattermann | E. Sterzer | B. Leube | Benjamin Ringler