The Effects of Oxygen Adsorption and Low Energy Ion Bombardment on the Electrical Properties of Cadmium Sulphide Thin Films

The changes produced in the electrical properties of cadmium sulphide thin films following oxygen adsorption and low energy ion bombardment are reported. High purity cadmium sulphide thin films were prepared in an ultra high vacuum evaporating chamber and conductivity tests and adsorption and bombardment investigations were carried out without exposing the samples to atmospheric contamination. Changes in the electrical properties of the thin film samples which can be directly attributed to either oxygen contamination or radiation damage at the surface, were observed. Es wird uber Anderungen der elektrischen Eigenschaften von dunnen Kadmiumsulfidschichten durch Sauerstoffadsorption und Beschus mit Ionen niedriger Energie berichtet. Hochreine, dunne Kadmiumsulfidschichten wurden in einer Ultrahochvakuumkammer aufgedampft; Leitfahigkeitsmessungen sowie Adsorptions- und Ionenbeschusuntersuchungen wurden durchgefuhrt, ohne die Proben einer atmospharischen Verunreinigung auszusetzen. Es wurden Anderungen der elektrischen Eigenschaften der dunnen Schichtproben beobachtet, die entweder der Sauerstoffanlagerung oder einem Strahlungsdamage an der Oberflache direkt zugeordnet werden konnen.