Detector for physical quantity

Es wird eine Tragheitssensorvorrichtung geschaffen, die einen Detektionsteil mit einer MEMS-Struktur besitzt, wobei eine einfache Sensorinstallation sichergestellt ist, wahrend ein fehlerhafter Betrieb, der durch die Einwirkung einer externen Vibration verursacht wird, kontrolliert wird. Um dieses Ziel zu erreichen, ist in der Tragheitssensorvorrichtung eine Vibrationsverhinderungsstruktur (103) zwischen einem Halbleiterchip (102), der an einem Gehausesubstrat montiert ist, und einem Halbleiterchip (104), der einen Sensordetektionsteil enthalt, vorgesehen. Die Vibrationsverhinderungsstruktur (103) besitzt einen Aufbau, bei dem der Umfang eines Vibrationsverhinderungsteils (103a) von einem Vibrationsverhinderungsteil (103b), der ein Material mit einem groseren Young-Modul enthalt, umgeben ist.