Measurement of Space Charge Distribution in a Polyimide Film

し,雑 音対 策 を十 分 に施 して 高 い周 波数 の信 号 まで検 出 す る こ と に よ り,分 解 能 お よ び 測 定 感 度 を 向 上 させ て い る(2)。出 力 波 形 の観 測 に は,デ ィ ジ タ ル オ シ ロ ス コ ー プ (LeCroy 7200A)を 用 い,そ の サ ン プ リ ン グ 速 度 は 2GHz/s,周 波 数 帯 域 は500MHzで 測 定 に要 す る時 間 を 短 縮 さ せ た。 試 料 の ポ リ イ ミ ド(PI)フ ィ ル ム(厚 さ 125μm,直 径58mm)は,課 電 前 に表 面 か ら50μmま で の 範 囲 で0.1μC/cm3程 度 の正 の 蓄積 電荷 が存 在 したが, これ は,製 造 時 あ る いは保 管 時 に静 電 気現 象 な ど何 らか の 原 因 に よ って形 成 され た もの と思 わ れ る。 この よ うな蓄 積 電 荷 は高 分 子 材 料 の 種 類 に よ り,極 性,電 荷 量 が 異 な る が,同 じ物 質 で の試 料 間 の ば らつ き は ほ とん どな い 。 PIフ ィル ム に直 流 電 界10kV/mmを 印加 し,5分 間 の 空 間電 荷分 布 の 経時 変 化 を測 定 した結 果 を図2に 示 す。 た だ し,課 電 中の 測定 のた め,各 測定 時 の出力 信 号 と印加 直