论文信息 - Atomic Layer Deposition and Performance of ZrO2-Al2O3 Thin Films - 字舞流文

Atomic Layer Deposition and Performance of ZrO2-Al2O3 Thin Films

K. Kukli | M. Ritala | M. Leskelä | M. Kemell | M. Heikkilä | H. Castán | S. Dueñas | H. Seemen | M. Rähn | J. Link | R. Stern