Hochauflösende Topometrie im Kontext globaler Makrostrukturen / High Resolution Topometry in Conjunction with Macro Structures

Eine Vielzahl technischer Anwendungen erfordert die Messung und Charakterisierung von Oberflächenrauhigkeiten in einem großen Ortsfrequenzbereich, wozu die Kombination verschiedener Meßverfahren durch das Zusammenfügen der Leistungsspektraldichtefunktionen (Power Spectral Density PSD) notwendig ist. Hierzu wird die Weißlichtinterferometrie (WLI) mit der Rasterkraftmikroskopie (AFM) anhand eines strukturierten Gitters verglichen. Es zeigt sich eine gute Übereinstimmung der Profile und der PSD. Weiterhin werden rauhe und strukturierte technische Oberflächen und teilweise deren dynamische Veränderungen (Korrosion, Beschichtung) mittels WLI, AFM und Streulichtuntersuchungen vermessen und die Ergebnisse mit Hilfe der PSD kombiniert, die somit einen Ortsfrequenzbereich von 5 Größenordnungen umfaßt. In einigen Fällen erzielt nur die kombinierte PSD die richtige modellmäßige Beschreibung der Oberfläche.