초정밀 리니어 스테이지의 운동오차 측정방법

본 발명은 초정밀 리니어 스테이지의 오차 측정방법에 관한 것으로서, x축 방향으로 직선운동을 하며, 수평(y)방향 운동오차, 수직(z)방향 운동오차, 롤(roll) 오차, 요(yaw) 오차, 및 피치(pitch) 오차를 가지는 초정밀 리니어 스테이지의 오차 측정방법에 있어서, x축에 평행하게 배열된 직선자의 참조면을 향하도록 배치된 복수개의 센서를 이용하여 상기 오차들의 일부를 포함하는 각 센서별 측정값을 측정하는 단계; 및 상기 단계에서 구해진 측정값을 이용하여 상기 오차들을 산출하는 단계;를 포함하고, 상기 복수개의 센서는 삼각형의 각 꼭지점에 위치한 3개의 센서를 포함하는 것을 특징으로 하며, 이를 통해 최소의 측정으로 초정밀 리니어 스테이지의 운동오차를 간편하게 계산할 수 있다.