생체자기 신호측정을 위한 고인덕턴스 코일 내장형 온칩 자기센서

생체자기신호 측정을 위해 고인덕턴스 코일과 계측 증폭기를 내장한 자기센서칩을 0.18㎛ CMOS공정으로 제작하였다. 생체자기신호를 측정하기 적합한 감도와 대역폭을 가지는 고인덕턴스 코일센서를 전자기장 시뮬레이션 프로그램으로 설계하였으며, 온칩에 구현하기 위해 트렌스컨덕턴스 감쇄방법 적용한 low gm OTA를 구현하였다. 자기센서칩의 출력신호 감도는 3.25fT/㎶이며, output reference noise는 21.1fT/√㎐이다. 계측 증폭기부분은 current feedback 기반으로 설계되었으며, 자기신호 잡음을 줄이기 위해서 0.5∼5㎑의 대역의 BPF를 설계하였다. MPW칩 테스트에서 common mode rejection ratio(CMRR)는 117.5㏈로 측정하였으며, input reference noise가 0.87㎶ 이하로 유지되도록 설계하였다.

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