Comparison between 3D Digital and Optical Microscopes for the Surface Measurement by Computer Vision

Abstract In this study, 3D digital and optical microscopes were used. The aim of this study is to compare surface roughness measurement by employing the image processing methods such as line scanning, speckle and fast fourier transform with three different samples machined by different manufacturing processes. The surface roughness results from processed images were obtained using different image analysis techniques such as Dark-light technique developed by the authors. The values calculated with the proposed method were compared with the roughness values obtained from 3D digital and optical microscopes. Zusammenfassung In dieser Studie wurden verschiedene optische Verfahren wie die konfokale Laser-Scanning-Mikroskopie und Digitalmikroskopie für die Experimente verwendet, mit dem Ziel diese Verfahren miteinander zu vergleichen. Dabei wurde die Oberflächenrauheit durch Verwendung der Bildverarbeitungsmethoden, wie Zeilenabtastung, Speckle und schnelle Fourier-Transformation, mit drei durch unterschiedlichen Herstellungsverfahren bearbeiteten Proben, bewertet. Die Oberflächenrauheit ergibt sich aus verarbeiteten Bilder mit Bildanalyse Techniken wie Hell-Dunkel-Technik, die von den Autoren entwickelt wurden. Die Werte, die mit der vorgeschlagenen Methode berechnet wurden, wurden mit den von 3D Digitalmikroskop sowie optischen Mikroskop erhaltenen Rauheitswerten verglichen.