MEMS 센서 응용을 위한 PZT Actuator 제작에 관한 연구

MEMS 센서 응용을 위하여 Zr/Ti=52/48 조성의 sol-gel을 Multi coating하여 2㎛ 두께 의 PZT actuator를 구현하였다. 층간 pore와 표면 crack, Haze 등이 없고, 2차상이 없는 Perovskite 상을 확인하였으며, 6inch wafer에서 두께 uniformity 5% 이하의 균일한 PZT 막을 형성하였다. Pt/TiO2 하부전극을 이용하여 하부 전극의 계면 열화 현상을 극복하였으며, (111) 우선 배향성을 얻었다. 제작된 PZT actuator는 dielectric constant와 Pr 값이 각각 1200과 24(uC/㎠)의 특성을 보였고, LDV로 측정된 압전 특성은 d33값이 120pm/V로 측정되었다.