论文信息 - Epitaxial piezoelectric MEMS on silicon - 字舞流文

Epitaxial piezoelectric MEMS on silicon

D. Briand | N. D. Rooij | C. H. Ahn | J. Triscone | D. Isarakorn | P. Janphuang | A. Sambri | S. Gariglio | C. Ahn | F. Guy | J. Reiner | P. Janphuang | N. de Rooij