Integrated circuit device and method of manufacturing the same

집적회로 소자는 핀형 활성 영역을 가지는 소자 영역 및 딥 트렌치 영역을 가지는 기판과, 핀형 활성 영역에 교차하는 방향으로 연장되는 게이트 라인과, 딥 트렌치 영역을 채우는 소자 영역간 분리막을 포함한다. 게이트 라인은 소자 영역 위에서 핀형 활성 영역을 덮도록 연장되고 제1 레벨의 평탄한 상면을 가지는 제1 게이트 부분과, 제1 게이트 부분과 일체로 연결되어 딥 트렌치 영역 위에서 소자 영역간 분리막을 덮도록 연장되고 제1 레벨보다 기판에 더 가까운 제2 레벨의 상면을 가지는 제2 게이트 부분을 포함한다.