である。高圧水 の噴射量 は,44cm3/sで あ る。 ダイナ ミック ミキ シング法によ り作製 した試料の窒化 チ タン薄膜 の厚 さは,1.5μmで あ り,そ の硬度 は,ヴ ィ ッカース硬度 で3500で あ った。 基 板 はSUS420J2を 用 いた。 この試料 に対 し,10秒 間 の高圧水 噴射 を行 い,表 面粗 さ計 によ って評価 したところ,噴 射部位 に若干 の粗 *大 阪工業 技術試験所(〒563大 阪府池田市緑が丘1-8) Government Industrial Research Institute, Osaka (1-8, Midorigaoka, Ikeda-shi, Osaka 563) **(株)荏原総 合研究 所(〒251神 奈川県藤沢市本藤沢4-2-1) EBARA Research Co., Ltd. (2-1, Hon Fujisawa 3chome, Fujisawa-shi, Kanagawa 251) ***(株)荏原製作 所(〒144東 京都大田区羽田旭町11-1) EBARA Corporation (11-1, Haneda Asahi-cho Ohtaku, Tokyo 144) Fig. 1 The configuration of a nozzle and a specimen for the erosion test.