Floating Guard Ring 구조를 갖는 InP / InGaAs Avalanche Photodiode의 이중확산 방법에 의한 제작

Floating guard ring(FGR) 구조를 갖는 avalanche photodiode(APD)는 제작이 매우 간단하고 제작된 소자의 신뢰성이 뛰어나기 때문에 고감도 특성의 고속동작 수광소자로 적합하다. 본 연구논문에서는 FGR APD의 구조설계, 제작공정 및 특성 측정 결과에 대해 논의하였다. FGR-APD는 이중확산 방법으로 제작하였으며, FGR이 가드링으로서 동작함을 2차원 이득특성 측정으로부터 확인할 수 있었다. 제작된 APD는 35 ㎓의 이득-대역폭 곱을 나타내었으며, 2.5 Gbps NRZ(Non-return-to-zero) 광신호에 대한 수신 감도는 비트오율이 10^(-9)일 때 -31.9 ㏈m이었다.