Aktive Schwingungsdämpfung eines Weißlichtinterferometers

Zusammenfassung In der Oberflächenmesstechnik sind mechanische Umgebungsschwingungen problematisch. Eine aktive Dämpfung von Messgeräten kann aus diesem Grund ein wichtiger Bestandteil für eine hohe Ergebnisgüte sein. Beispielhaft ist hier die praktische Umsetzung der Dämpfung eines Weißlichtinterferometers (WLI) vorgestellt. Als Referenzmessgerät dient ein Quadraturinterferometer (QI), welches die Schwingungen zwischen WLI-Messkopf und Messtisch aufzeichnet. Ein Regelalgorithmus nutzt diese Information um eine Stellgröße zu erzeugen, welche den WLI-Messkopf mit Hilfe eines Piezoelementes stabilisiert. Abstract Environmental vibrations are always problematic in surface metrology. For this reason an active damping of measurement setups is an important component for a high measurement quality. As an example the practical realization of the damping of a White Light Interferometer (WLI) is presented here. A quadrature interferometer (QI) serves as reference measurement device which detects the vibrations between the measurement head and the measurement table. A closed loop control algorithm uses this information and delivers an actuating signal for the stabilization of the measurement head by means of a piezoelectric element.