Optimierung von Mikrospulen zur Versorgung autarker telemetrischer Mikrosysteme

Wenn die Anwendung von Batterien bei autarken Mikrosystemen Restriktionen unteriiegt, erfolgt die Energieversorgung durch die induktive Kopplung zweier Spulensysteme. Die verwendeten Mikrospulen (onchip coils) haben einen entscheidenden Einfluß auf den Schreibund Leseabstand des Systems. Der Artikel beschreibt die Optimierungsparameter für Mikrospulen, die mit der 3D-Tiefenlithographie und galvanischer Abscheidung hergestellt werden. Der Einfluß von Gold und Kupfer als Spulenmaterial und die Verwendung einer geeigneten Isolationsschicht wird beschrieben. Der Einfluß des Mikrospulendesigns wird anhand eines Modells und an Messungen aufgezeigt.

[1]  Rainer Laur,et al.  Characterization of on-chip coils for rf microsystems , 1999, Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS.

[2]  Miko Elwenspoek,et al.  Characterization of a planar microcoil for implantable microsystems , 1997 .

[3]  Robert Puers.  Linking sensors with telemetry: impact on the system design , 1996 .

[4]  H. Greenhouse,et al.  Design of Planar Rectangular Microelectronic Inductors , 1974 .

[5]  K. Najafi,et al.  A single-channel implantable microstimulator for functional neuromuscular stimulation , 1997, IEEE Transactions on Biomedical Engineering.

[6]  J. R. Long,et al.  Modeling of monolithic inductors and transformers for silicon RFIC design , 1995, Proceedings of 1995 IEEE MTT-S International Topical Symposium on Technologies for Wireless Applications (Conjunction with INTER COMM'95).