높은 비저항을 갖는 RF 소자용 CoPdAlO 박막의 자기적 특성

휴대전화와 PHS등의 Si-MMIC에 이용되고 있는 spiral 인덕터는 약 800 ㎒대 이상의 준마이크로파 대역을 이용하고 있다. 그러나 W-CDMA는 약 2 ㎓까지의 주파수 대역을 적용하고 있어, 그에 따라 자성박막의 자기특성도 2 ㎓ 대역까지 안정한 재료 개발이 요구되고 있다. 따라서 2 ㎓ 대역에서 연자기 특성이 기대되는 CoPdAlO계 박막을 rf스퍼터링 법으로 제조하여, Pd 첨가량 및 자장중열처리 온도에 따른 자기적 성질을 조사하였다. Pd 조성이 19 %일때, H_k는 118 Oe, μ'는 1.5㎓까지 평행한 주파수특성을 보였다. 그러므로, CoPdAlO 박막은 ㎓ 대역에서 안정한 자기특성변화를 나타내었고, W-CDMA의 인덕터 재료로써 기대 할 수 있다고 판단된다.