Application of mathematical statistic in preliminary investigations of high gauge factor thick film resistors

Streszczenie. Technologie grubowarstwowa i niskotemperaturowej ceramiki wspolwypalanej znajdują zastosowanie w produkcji ukladow mikroelektronicznych, czujnikow, aktuatorow i mikrosystemow. Parametry ukladow wykonanych tymi technikami zalezą w znacznej mierze od wlaściwości biernych elektronicznych elementow grubowarstwowych oraz dokladności procesu obrobki mechanicznej lub laserowej materialu. Z tego wzgledu wlaściwości elementow biernych naniesionych na rozne podloza ceramiczne muszą byc dokladnie analizowane. W pracy sprawdzono wplyw nastepujących parametrow: rodzaju niskotemperaturowej ceramiki wspolwypalanej (DP951, HL2000, Ceram Tape GC), konfiguracji rezystorow (zagrzebane, powierzchniowe), wymiarow geometrycznych rezystorow wykonanych z pasty ESL 3414-B-HBM na podstawowy parametr rezystorow (rezystancje na kwadrat i jej rozrzut). Analiza zostala wykonana z zastosowanie statystyki matematycznej w celu weryfikacji poprawności wynikow. (Zastosowanie statystyki matematycznej we wstepnej ocenie wlaściwości rezystorow grubowarstwowych o wysokim wspolczynniku czulości odksztalceniowej)