论文信息 - H-Implantation-Induced Damage in Si - 字舞流文

H-Implantation-Induced Damage in Si

A. Vehanen | J. Keinonen | M. Hautala | J. Räisänen | A. Kuronen | P. Hautojärvi | E. Rauhala | E. Punkka | J. Lahtinen | V. Karttunen