Fluorine-containing photoreactive polyimide. 6. Synthesis and properties of a novel photoreactive polyimide based on photo-induced acidolysis and the kinetics for its acidolysis

Un polyimide contenant des motifs phenols proteges par des groupes t-butoxycarbonyl est prepare et la cinetique d'acydolyse photo- ou thermoinduite des groupes protecteurs est etudiee. La deprotection entrai←ne la dissolution du polyimide en milieu aqueux basique. Les caracteristiques (sensibilite, resolution) de ce resist positif sont determinees