Spotlight with base for the irradiation of surfaces
暂无分享,去创建一个
Fur die Bestrahlung von Oberflachen wird ein Strahler (1) mit einem Sockel (8) vorgeschlagen, wobei der Sockel mindestens eine Gasoffnung (12) fur die Zufuhr eines Prozessgases in einen dem Strahlergefas (2, 3, 5) benachbarten Raumbereich aufweist. Dadurch kann auf eine separate Gaszufuhrvorrichtung verzichtet werden. Optional kann auch das Strahlergefas (2, 3, 5) eine tunnelartige Durchgangsoffnung (3) fur die Zu- oder Abfuhr von Prozessgas aufweisen.