Nanometrologie in zweieinhalb Dimensionen: Entwicklung einer Nanometer-Koordinaten-Messmaschine mit rasterkraftmikroskopischer Antastung (Nanometrology in Two and a Half Dimensions: Development of a Nanometer Coordinate Measuring Machine with Atomic Force Scanning)

Dieser Artikel beschreibt die Entwicklung einer Nanometer-Koordinaten-Messmaschine (NCMM) mit rasterkraftmikroskopischer Antastung für großflächige Messungen in zweieinhalb Dimensionen. Es wird der Systemaufbau aus einem Positioniersystem und einem Rasterkraftmikroskop vorgestellt und es werden Maßnahmen bezüglich Reduzierung von Messunsicherheiten, Verkürzung der Messdauer und Verbesserung der Bedienbarkeit aufgezeigt. This paper reports on the development of a Nanometer Coordinate Measuring Machine with atomic force scanning for large-area measurements in 2.5 dimensions. The setup consisting of a positioning system and an atomic force microscope is described and the improvements concerning reduction of uncertainties, reduction of scanning duration, and improvement of usability are presented.