Uses of Corona Discharges in the Semiconductor Industry

Les decharges en couronne sont utiles dans l'industrie des semiconducteurs. Description d'applications dans la fabrication microelectronique des dispositifs, le controle de la qualite des isolants, l'analyse des defaillances, et la comprehension des proprietes electriques des isolants; on s'en sert pour le depot des verres de passivation, la decoration des defauts dans les couches minces d'isolants, et la detection des couches isolantes tres minces. On passe en revue les applications dans la physique des oxydes et la cinetique de leur croissance. On donne aussi la description de quelques applications non publiees dans l'evaluation des dispositifs et l'analyse des defaillances, tout particulierement pour les dispositifs a haute tension