폐자로형 평면 인덕터의 제조 및 고주파 특성에 관한 연구

본 연구에서는 micro magnetic device의 제작과 특성 분석을 위하여 고주파수 대역에서 사용기능한 자성체의 개발과 meander형 마이크로 코일의 가공 기술 확립에 그 목적을 두었다. 자성체로서는 DC magnetron reactive sputtering system에 의해 제조된 초 미세 결정구조를 갖는 FeTaC, FeTaN막을 사용하였으며, 그 자기적 특성은 다음과 같다. Bs : 13~17 kG, Hc : 0.1~0.2 Oe, μ’ : 2000~4000. 전기 도금법에 의해 제작된 Cu코일은 2 μΩ-㎝의 비저항을 나타내었으며, 공심형 5 turn 언덕터의 경우에는 50 nH 의 인덕턴스와 700 ㎒의 공진 주파수 그리고 200 ㎒에서 30의 성능 지수를 보였다. 또한 meander 형태의 폐자로 인덕터에서 인덕턴스는 150 nH, 공진 주파수는 100 ㎒, 그리고 성능지수는 10~30 ㎒에서 4의 나타내었다.