论文信息 - Metalorganic vapor-phase epitaxy of β-(Al Ga1-)2O3 on (<mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" altimg="si1.svg"><mml:mover accent="true"><mml:mrow><mml:mn>2</mml:mn></mml:mrow><mml:mrow><mml:mo stretchy="false">¯</mml:mo></mml:mrow></mml:mover></mml:math> 0 1) Ga2O3 substrates