Commande à structure variable d'un actionneur piézoélectrique associé à un microscope à effet tunnel

Resume : Les ceramiques piezoelectriques permettent un controle de deplacements lineaires avec une sensibilite nanometrique non atteignable avec les systemes mecaniques conventionnels. Ce travail presente l'implantation d'une Commande a Structure Variable (CSV) pour le pilotage de la ceramique piezoelectrique d'un microscope a effet tunnel. L'elongation de l'actionneur est obtenue a partir de la mesure du courant tunnel circulant entre une pointe-sonde fixee a l'extremite de la ceramique et une surface conductrice polarisee, placee perpendiculairement a la pointe. La grande sensibilite du courant tunnel avec la distance pointe-echantillon permet de controler des elongations dans le domaine du nanometre. La modelisation et l'identification du systeme ont permis d’en determiner les variables pertinentes pour l'implantation de la commande. La validation experimentale de cette commande a ete effectuee en etudiant sa reponse en poursuite et en regulation, et en comparant ses performances avec celles d'un correcteur integral conventionnel, utilise classiquement dans les electroniques de pilotage commerciales.