论文信息 - Simulation of micro-mirrors for optical MEMS - 字舞流文

Simulation of micro-mirrors for optical MEMS

G. Tallarida | C. Wiemer | C. Fiegna | A. Lamperti | E. Cianci | L. Lamagna | M. Zanuccoli | I. Semenikhin | F. Vercesi | S. Losa | S. Rossini