반도체/디스플레이 공정 에너지 사용량 시뮬레이션 개발

반도체/디스플레이 공정은 타 공정에 비해 전력비용이 생산비에서 차지하는 비중이 높다. 효율적인 생산을 위해서는 사용 전력량을 감축하고 스마트 그리드 환경에 맞추어 시간대별 전력사용량 계획을 수립하는 것이 필요하다. 하지만 생산 일정 계획 및 모니터링 시스템 성능 검증을 위해 양산되는 시설을 이용하는 것은 불가능하므로 시뮬레이션을 이용한 연구 진행은 필수적이다. 본 연구에서는 반도체/디스플레이 공정의 전력 사용 시뮬레이션 시스템을 구축하여 전력 누수를 방지하기 위한 모니터링 시스템 구축 및 에너지 피크 분산 기법에 관한 개발을 진행하였다.