Physikalisch basierte Mixed-Level Modellierung von gedämpften elektromechanischen Mikrosystemen

Im Rahmen der vorliegenden Arbeit werden Ansatze und Methoden zur Modellierung von gekoppelten Effekten in Mikrosystemen auf Bauelemente- und Systemebene entwickelt. Im Mittelpunkt der Untersuchungen stehen hierbei die elektromechanische Kopplung und die Fluid-Struktur-Wechselwirkung mit einem Schwerpunkt auf der viskosen Dampfung bei dynamisch betriebenen Mikrobauelementen. An typischen Demonstratoren werden Wege aufgezeigt, wie die Komplexitat der Modelle, angepasst an die jeweilige Problemstellung, so reduziert werden kann, da diese gekoppelten Effekte moglichst genau und physikalisch basiert, aber dennoch mit angemessenem Rechenaufwand in die Simulationen einbezogen werden konnen.