본 연구는 전극을 형성하는데 있어서 진공증착법보다 공정이 간편하고 저가의 대량생산에 용이한 장점을 가진 스크린 인쇄법을 이용하여 MIS 태양전지를 제작하여 특성을 평가하였다. p-Si(0.5-2 Ω·cm) 기판 위에 기계적 특성이 뛰어나고 가시광선 영역에서 광학적 특성이 우수한 산화알루미늄(Al₂O₃, 1nm)박막을 RPALD(Remote Plasma Atomic Layer Deposition)을 이용하여 증착하고 전면 전극으로 Ag, 후면 전극 Al 페이스트를 스크린 인쇄법으로 인쇄한 뒤, RTA(Rapid Thermal Annealing, 급속열처리)장치로 열처리 하여 MIS 커패시터를 제작하였다. MIS 커패시터의 전기적 특성은 pA meter(HP 4140B)와 LCR meter(HP 4284A)를 이용하여 C-V특성과 누설전류 특성을 평가하였다. 커패시터의 전기적 특성 평가 후 스크린 인쇄법을 이용하여 MIS 태양전지를 제작하여 솔라시뮬레이터(Solar Simulator)로 STC(Standard Test Condition) 100mW/㎠, 25℃ 상태에서 태양전지의 전기적 특성을 평가하고, 양자효율 측정 시스템(Quantum Efficiency measurement system)을 이용하여 파장범위(350~1100nm)에 따른 스펙트럼 응답 특성을 평가하였다.