论文信息 - Amorphous Ta–Si–N diffusion barriers on GaAs - 字舞流文

Amorphous Ta–Si–N diffusion barriers on GaAs

O. Lytvyn | R. Ratajczak | E. Kamińska | A. Piotrowska | L. Nowicki | A. Kuchuk | K. Gołaszewska | E. Dynowska