Multiple patterning techniques used to implement the method and system minimum pattern mismatch

本公开提供了多重图案化技术方法和系统的许多不同实施例。 示例性方法包括：接收具有多个部件的图案布局；使多个部件的每一个着有至少两种颜色中的一种，从而形成着色图案布局，其中，着色包括使匹配敏感部件着有相同颜色；以及利用着色图案布局的部件制造至少两个掩模，其中，每个掩模都包括单种颜色的部件。