본 논문은 최소자승법을 이용한 MEMS IMU의 확정적 오차 요소의 동시 보정 기법을 기술하였다. 오차요소는 크게 확정적 오차와 확률적 오차로 구분된다. 이 때, 확정적 오차에는 고정 바이어스, 환산 계수 및 축 틀림 오차가 있으며 본 논문에서는 3가지 오차요소에 대한 동시 보정 기법을 제시하였다. 결과적으로 최소자승법을 이용하여 MEMS IMU의 성능 및 정확도를 개선 할 수 있으며, 기존의 방법을 이용한 보정 결과와 비교함으로써 성능에 대한 타당성을 검증하였다.