论文信息 - Atomic Layer Deposition of Zinc Glutarate Thin Films - 字舞流文

Atomic Layer Deposition of Zinc Glutarate Thin Films

M. Ritala | T. Niemi | M. Heikkilä | K. Mizohata | J. Räisänen | S. Hirvonen | Miika Mattinen | Leo D. Salmi | Sanna Korhonen