기판에 따른 MEMS 인덕터의 특성 연구

제1장 서론 = 1 제2장 배경이론 = 3 2.1. MEMS란 무엇인가? = 3 2.2. 인덕터 = 5 2.2.1. 인덕터 동작특성 = 5 2.2.2. 인덕터 성능 파라미터 = 9 2.2.2.1 인덕턴스 = 9 2.2.2.2 Quality Factor = 13 2.2.2.3 자기공진주파수 = 15 2.2.3. 인덕터 손실 요인 = 16 2.2.3.1 도체에서 발생되는 손실 = 16 2.2.3.2 기생 커패시턴스에