Characteristics of Spark Gap Voltage Waveforms for Air Discharges of Electrostatic Discharge Guns

To grasp the characteristics of air discharges of electrostatic discharge (ESD) guns, time-variant spark gap voltage waveforms at low charge voltages are discussed. Through the application of our proposed circuit approach using measured discharge current waveforms and frequency characteristics of an ESD-gun, the time-variant spark gap voltage waveforms for air discharges of an ESD-gun can be estimated. By comparing them with the ones obtained by applying Rompe-Weizel's spark resistance formula, arc discharges following spark were confirmed. Streszczenie. W celu zrozumienia charakterystyk wyladowan elektrostatycznych w powietrzu wytwarzanych za pomocą generatorow ESD, w pracy omowiono przebiegi napiecia na przerwie iskrowej przy niskich poziomach napiecia ladowania na generatorze. Przebiegi tego napiecia mozna wyznaczyc proponowaną przez autorow metodą obwodową, ktora bazuje na pomiarach ksztaltu prądu wyladowania oraz charakterystyki czestotliwościowej impedancji generatora ESD. Poprzez porownanie tak wyznaczonych przebiegow napiec z otrzymanymi na podstawie zalezności na napiecie przeskoku Rompe-Weizel, potwierdzone zostalo wystąpienie, po przeskoku iskry, wyladowan lukowych (Charakterystyki przebiegow napiecia na przerwie iskrowej podczas wyladowan w powietrzu wytwarzanych za pomocą generatorow wyladowan elektrostatycznych).