Co - Cr 박막의 미세구조 변화에 따른 자기적 특성

스퍼터링에 의해 제작된 Co-Cr 박막은 고밀도기록 매체로서 유망한 재료 중의 하나로 연구되어왔다. 본 연구에서는, 대향타겟식스퍼터링 시스템으로 c축 배향 육방조밀격정을 갖는 Co-26at%Cr 박막을 제작 하였다. 제작된 박막에 있어서, 미세구조 변화에 기인된 자기적 특성의 변화와 기판온도 변화에 따른 결정배향성의 변화를 확인하였다.