论文信息 - High resistivity isolation for AlGaN/GaN HEMT using Al double-implantation - 字舞流文

High resistivity isolation for AlGaN/GaN HEMT using Al double-implantation

P. Borowicz | P. Prystawko | E. Kamińska | A. Piotrowska | A. Taube | J. Kaczmarski | R. Jakieła | M. Juchniewicz | J. Jasiński | E. Dynowska | M. Borysiewicz | A. Barcz | J. Dyczewski | M. Kozubal