MEMS 기술을 이용한 마이크로 음향센서

기존 음향센서의 한계를 극복할 수 있는 새로운 형태로서 MEMS 기술을 이용한 마이크로 음향센서인 cMUT의 개념과 그 작동원리를 알아본다. 기존 음향센서 특히 초음파 음향센서로 널리 사용되는 압전형 센서와 비교한 장단점을 알아보고 그에 따라 cMUT의 장점을 살릴 수 있는 응용 분야와 향후 연구 방향을 고찰해본다.