Phasenschiebe-Verfahren in der interferometrischen Meßtechnik: Ein Vergleich

Das Gleichungssystem fur die Phasenschiebe-Verfahren der interferometrischen Mestechnik wird aufgestellt sowie eine Reihe von Losungen angegeben. Hierbei werden Verfahren mit bekannten und unbekannten, sowie mit konstanten und nicht konstanten Phasenschiebungen behandelt. Ein Vergleich der Verfahren im Hinblick auf die erreichbare Genauigkeit gibt Hinweise zur Wahl des optimalen Verfahrens fur ein gegebenes Mesproblem.