PSG 광도파박막을 이용한 1.3 / 1.55 ㎛ WDM Coupler의 설계 및 제작

유한영역에서의 조화함수전개법으로 인접한 두 도파로 코어 중심간의 거리 및 도파로 변수에 따른 결합길이를 계산하여 1.3/1.55 ㎛ WDM coupler을 설계하였다. 저압화학기상증착법에 의해 PSG 도파 박막을 제작하고 laser lithography와 CF₄/O₂ RIE 공정 등을 이용하여 WDM coupler를 제작하였다. 또한 광섬유를 지지 및 고정하기 위하여 Si 기판 위에 V-groove를 만들었으며 제작된 WDM coupler와 V-groove로 지지된 광섬유를 UV curing epoxy를 사용하여 접속하였다. 제작된 WDM coupler의 1.3 ㎛, 1.55 ㎛에서의 분지별 도파모드를 관측하고 분할비를 측정한 결과 최대 분할비는 각각 9 dB, 12 dB였다.