论文信息 - Ein Messsystem zur Bestimmung von Materialkennwerten an Mikrokomponenten auf Basis der Digitalen Holografie (A Measurement System for the Determination of Material Properties of Microcomponents on the Basis of Digital Holography)

Ein Messsystem zur Bestimmung von Materialkennwerten an Mikrokomponenten auf Basis der Digitalen Holografie (A Measurement System for the Determination of Material Properties of Microcomponents on the Basis of Digital Holography)

In diesem Beitrag wird ein neuartiges Messsystem auf Basis der Digitalen Holografie vorgestellt, das zielgerichtet für die Bestimmung von Materialkennwerten an Mikrokomponenten entwickelt wurde. Auf der Grundlage einer kombinierten interferometrischen Form- und Verformungsmessung werden exemplarisch die Poissonzahl, das E-Moduls und der thermische Ausdehnungskoeffizient an Mikrobalken ermittelt.

Wolfgang Osten | Werner Jüptner | S. Seebacher | Th. Baumbach

[1] Wolfgang Osten,et al. Measuring shape and deformation of small objects using digital holography , 1998, Optics & Photonics.

[2] Ichirou Yamaguchi,et al. Application of Holographic Interferometry to the Measurement of Poisson's Ratio , 1969 .

[3] Wolfgang Osten,et al. Qualification of optical measurement techniques for the investigation of material parameters of microcomponents , 1999, Industrial Lasers and Inspection.