열처리 온도에 따른 ITO 나노입자 박막의 발열특성

유리기판 위에 ITO 나노입자를 스핀코팅법을 이용하여 박막을 형성한후, 열처리를 하여 ITO 나노입자 박막의 발열특성을 조사하였다. 초기 연저항이 186 ㏀ 인 ITO 박막은 400℃에서 5분간 열처리 한 후에는 면저항이 0.63 ㏀ 으로 감소하였으며, 20 V의 전압을 인가하였을 때 온도가 171 ℃ 까지 상승하였다.