Controle de couches minces transparentes d'épaisseurs optiques quelconques application à des couches extrêmement minces

It is shown how a "maximetre" may be used for monitoring thin films differing from 03BB/4 in optical thickness, and specially extremely thin films. Two methods are proposed. The first one, very simple and general, uses a monitoring glass ; the other one needs difficult preliminary calculations but allows monitoring on the sample itself. These methods enable films down to 03BB/200 in thickness to be monitoring with considerable precision. An example application is proposed : improving the flatness of Fabry-Perot plates. REVUE DE PHYSIQUE APPLIQUEE TOME 2, MARS 1967, Introduction. Les qualites de l’interferometre de Fabry-Perot sont essentiellement limitees, dans l’etat actuel, par les defauts de planeite des lames. On peut essayer d’ameliorer cette planeite en deposant sur les lames une couche mince, transparente, d’epaisseur non uniforme. Le controle de l’epaisseur de cette couche pose un probleme : la precision doit depasser largement ~,/100. On sait que le « maximetre » [1] permet le controle precis de couches ou d’empilements de couches dielectriques d’epaisseur optique X/4. Nous nous sommes proposes d’utiliser sa precision pour le controle de couches d’epaisseurs quelconques et en particulier des couches d’epaisseurs tres faibles, necessaires dans ce cas. Nous verrons qu’il permet non seulement d’atteindre la precision necessaire, mais encore d’effectuer le controle sur la lame elle-meme.