AlN Synthesis by Direct Nitriding Method in a Fluidized Bed with Bed Materials of AlN

AlN微粉末の合成を流動層内で直接窒化法を用いて行った．流動層法によれば熱交換に優れ，また原料のAlが層内で溶融分散することにより反応速度の増大，生成物の微粉化が期待される．本検討では高効率化を目的とし操作条件を策定，プロセスの改善法を検討した．その結果，本法を用いることにより，凝集物の生成は見られるが，高純度のAlNを比較的低温で合成することができることを示した．