论文信息 - Laser Annealing of P and Al Implanted 4H-SiC Epitaxial Layers - 字舞流文

Laser Annealing of P and Al Implanted 4H-SiC Epitaxial Layers

L. Torrisi | L. Calcagno | G. Fortunato | M. Zimbone | A. Pecora | F. La Via | C. Calabretta | M. Agati | S. Boninelli | Andrea Castiello