Optimisation des circuits passifs micro-ondes suspendus sur membrane diélectrique

Les travaux presentes dans ce memoire traite du developpement et de l'optimisation de nouvelles filieres technologiques d'elaboration de circuits micro-ondes suspendus sur membrane dielectrique. Cette elaboration passe par l'etude physique, mecanique et electrique de nouveaux materiaux susceptibles de repondre aux cahiers des charges. Nous proposons la filiere technologique basee sur la fabrication de membranes epaisses a partir des depots par plasma. L'interet majeur de cette technologie est d'ameliorer la fiabilite mecanique du composant. Les resultats en terme de caracterisation frequentielle montre un bon accord avec la filiere developpee auparavant et qui est dediee essentiellement a la fabrication de circuits micro-ondes de surface assez faible sur membrane mince. Dans un second volet, nous proposons un banc de test pour la caracterisation mecanique des materiaux. Dans cette optique, un systeme de gonflement de membrane suspendue sous pression differentielle a permis de tester les proprietes mecaniques du nitrure de silicium. Les contraintes residuelles et le module d'Young du materiau sont extraits. La derniere partie concerne la realisation d'une antenne a emission surfacique de type Yagi-Uda sur membrane dielectrique. La miniaturisation et les technologies de micro-usinage volumique du silicium ont permis la reduction des dimensions, et surtout l'utilisation de ce type d'antennes en haute frequence. Nous decrivons un nouveau procede de gravure de silicium adapte a la fabrication de ce type d'antenne. La caracterisation electrique des structures fabriquees est en accord avec les resultats de simulation electrique. De plus, des simulations mecaniques des structures fabriquees sont presentees afin de clarifier l'origine des deformations des dispositifs.