Design, Modeling, Fabrication, and Verification of New Multifunctional MEMS/NEMS Components
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U. Heinkel | E. Markert | S. Voigt | J. Mehner | K. Hiller | D. Kriebel | M. Freitag | Matthias Sauppe | C. Auerswald | Henry Schmidt | Benjamin Arnold | S. Hahn